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Monroe 表面電位計用プローブ 1017A・1034

Model 1017Aシリーズ (244A・244AL用)
Model 1034シリーズ (279・279L用)

特徴
  • 小型 7.9mm x 7.9mm x 73mm
  • 耐トナー超柔軟ケーブル
  • 高応答 1kHz振動のチョッパー使用
  • プローブ浄化用空気注入口付き
  • 表面電位計244A・244AL・279・279L型で使用可能
  • ハイブリッドプリアンプ

用途
  • 製品開発
  • 部品試験
  • 静電気放電(ESD)計測
  • 物質評価
  • 摩擦帯電実験
  • 静電気モニター
  • 工程管理
  • IC取扱
  • 受光素子研究

モンローエレクトロニクス小型プローブ1017A・1034型は高度な技術を使い、表面電位計244A・244AL・279・279L型のプローブとして使うことで、拡張された性能を出すことができます。

開口部の位置によりエンドヴュイングとサイドヴュイングの二種類の標準プローブがあります。エンドヴュイングプローブの1017AE・1034E型は、プローブ先端の面に開口部があり、サイドヴュイングプローブ1017AS・1034S型は、プローブ先の方で側面に開口部があります。標準プローブの他に、より狭い領域の測定に対し高分解能プローブ、より広い領域に対し速い応答、低いノイズを維持したい測定のために低分解能プローブ、さらに光減衰測定のための光透過プローブなどがあります。

1017A・1034型プローブには新しいハイブリッド型のプリアンプが組み込まれていて、これにより速い応答が可能となっています。プローブに組み込まれたすべての回路は、過大な電圧やアーク放電があったときでも、保護されるようになっています。

標準プローブに別売りのグラディエントアダプタを付加すると静電界のプローブを構成することになり、本体244A型を高応答の静電界計として使うことができるようになります。

1017A型プローブはそのケーブルに浄化空気の取り入れ口が取り付けられています。ろ過された空気あるいは別の気体をこの取入れ口から注入すると、プローブ開口から排出されて、プローブ内部への異物の侵入を防いだり、探知電極の周りの空気を常にきれいな状態に保ち、非常に安定性のある測定ができます。
アクセサリー
  • 延長ケーブル―30.48mまで
  • 浄化キット―Model1017/22G・・・エアポンプ、塵・化学フィルター、浄化に必要なチュービングとフィッティング
  • グラディエントアダプタ―Model1017E/22Dと1017S/22D・・・プローブに取り付けて表面電位計を20kV/cm以上のレンジの静電界計に変更する

仕様
表面分解能 プローブの開口の大きさと表面―プローブ間の距離に依存
開口直径1.78mmの標準プローブ1017AE型と1017AS型の場合、プローブ設定距離を0.5mmとすると分解能2.5mmスポット。
高分解能プローブ1017AEHの分解能は0.3mmのプローブ設定距離で分解能約1mmスポット。
動作温度 -50℃~80℃
寸法 7.9mm x 7.9mm x 73mm (標準、高分解能および低分解能プローブ)
重量 156g (標準プローブ)

表面電位計244Aでで使用するとき
応答時間 <2.5ms(10%~90%)1kVに対して
<3.5ms(10%~90%)2kVに対して
<4.5ms(10%~90%)3kVに対して
ノイズ <0.3rms、2Vp-p値
ドリフト 10mV/時(1時間のウォームアップ後)
精度 0.1%

表面電位計244ALで使用するとき
応答時間 <2ms(10%~90%)、プローブ設定距離2.5mm
ノイズ <20mVrms(通常)
ドリフト 10mV/時(1時間のウォームアップ後)
精度 0.1%あるいは10mVで大きい方

プローブの種類
  • 標準プローブ・・・1017AE・1017AS・1034E・1034S
  • 高分解能プローブ・・・1017AEH・1034EH型で、検知部開口直径は0.55mmです。標準プローブに比べより狭い領域の電位を測ることできます。。分解能はプローブと測定面の設定距離に依存します。開口径の小さいプローは分解能を上げることができますが、その一方の伊豆、ドリフト、応答時間の性能を低下させます。プローブ設定距離を0.13mmにした時のそれぞれの性能値は、応答時間(10%~90%)が300V ステップ入力で<20ms、ノイズは15Vrms、ドリフトは3V/hrとなります。本プローブはどうしても高い分解能を必要とする測定には有効ですが、通常の用途には向いていません。
  • 低分解能プローブ・・・1017AEL・1017ASL・1034EL・1034SL型で、検知部開口直径は3.3mmです。プローブ設定距離が比較的離れていても(3mm程度まで)低ノイズの測定ができます。
  • 光透過プローブ・・・1017AT型プローブで、感光体材料の明減光(光減衰)の測定に使われます。鏡とかガラス板のような光学的障害物のない真の光透過プローブです。電気的な特性は1017ASと同様です。寸法は9.5mm x 9.5mm x 82.6mmで、開口部(光透過部)の直径は6.4mmです。
  • スリット型開口プローブ・・・1017AEJ・1034EJ型で、特殊な高分解能プローブです。一次元方向に対する特別に高い分解能の測定ができます。0.25mm程度のラインパターンの測定に用いられます。そのほかの電気的特性は、応答時間(10%~90%)が1kVステップ入力で<10ms、ノイズは12Vrms、80Vp-p、ドリフトは3V/hrとなります。